微电子传递窗

  微电子传递窗一般要求

  1、微电子传递窗内的洁净度要求:B级;

  2、内外双层壳体,内部四周圆弧处理,保证无缝隙连接;

  3、采用层流设计,气流流向采用上送下回模式,底部采用304不锈钢冷轧板冲孔设计,并设置加强筋;

  4、过滤器:初效过滤器采用G4,高效过滤器采用H14;

  5、风速:经过高效过滤器后出风风速控制在0.38-0.57m/s(在高效出风均流板下方150mm处测试);

  6、压差功能:显示过滤器压差(量程高效0-500Pa/中效0-250Pa),精度±5Pa;

  7、控制功能:风机启动/停止按钮,配置内置式电子门互锁;设置紫外灯,设计单独开关,当两扇门关上时,紫外灯应出于开启状态;设置照明灯,设计单独的开关;

  8、高效过滤器可单独从上部箱体进行拆卸和安装,便于维护和更换滤器;

  9、在传递窗下部设置检修口,用于风机的检修;

  10、噪声:传递窗正常运行时噪声<65db;

微电子传递窗